大口徑低溫（wēn）泵測試係統可為環模設備低溫泵提供完整的性能參數。本文介紹了一種大口徑、大抽速低溫泵（bèng）的測試係統，對各分係統結構功（gōng）能進行了詳細描述（shù）。其使（shǐ）用流量法和流導法兩種（zhǒng）方（fāng）法提供在1×10-6 Pa 至10 Pa 範圍內的抽速、預冷時間、極限（xiàn）真空度等參數的測量。此係統同（tóng）時具有加熱烘烤和可調（diào）節氣體流量（liàng）的功能（néng）。
隨著環模設備容量（liàng）的不斷增大，真空係統對於大抽速、高真空、清潔無油的（de）低溫泵需求也越來（lái）越強，同時（shí）對（duì）於低（dī）溫（wēn）泵性能測試設備的要求也隨之提高。本文介紹了一種國內最新的大口徑低溫泵測試係統，能完成氮氣等（děng）氣體抽速、低溫泵預冷時間、低溫泵極限真空度（dù）的測定，測試罩極限真（zhēn）空小於1×10-6 Pa，控製精度優於0.5%F.S。
1、低溫泵測試係統的總體（tǐ）設（shè）計及測試原理
低溫泵測試係統主要由測試罩、真空測量係統、真空獲得係統、流（liú）量控製係統、加熱係（xì）統、循（xún）環（huán）水係（xì）統、數據采集及控製係統等部分組成。其總體設計原理如圖1 所示。
抽速測試方法分為兩部分，流量（liàng）法和標準流導法。流量法主要用來得到低真空（kōng）下(>10-3 Pa)的抽速、測試低溫泵的容許真空（kōng）度和流量（liàng）上限；流導法主要是利用分子流下的小孔（kǒng）流導來測試高真空下(<10-3 Pa)泵的（de）抽速（sù）等性能（néng）參數。
