(一)主要配置：
1、微波頻率2.45GHz；足額功率0～500W（基本型）或（huò）0～1000W（升級（jí）型）連續（xù）可調，陽極高壓、陽極電流足額顯示（shì）；
2、Φ50mm（基本型）或Φ90mm（升級型）石英管真空室，有一個觀（guān）察窗和一個診斷窗；
3、石（shí）英管采用製冷循環水冷卻，保證裝（zhuāng）置（zhì）安全運行。
4、配有真空測量及控製（zhì）閥門係統；3路工作氣體流量控製；
(二（èr）)典型實（shí）驗：
1、等離子體（tǐ）化學氣相沉積。A（氣）+B（氣）→C（固）+D（氣）。
反應氣體A、B被激發為等離（lí）子狀態，其活性基團（tuán）發生反（fǎn）應生成所需要（yào）的固態物沉積在基片上，可廣泛用於薄膜或納米材料的合成。如金剛石薄膜、碳納米材料等。
2、等離子（zǐ）體（tǐ）表麵刻蝕。A（氣）+B（固）→C（氣）。反應氣體A被（bèi）激發為等離子體狀態與固體B表麵原子發生反應生成氣態物C，可用於集成電路的刻蝕實驗。
3、等離子體催化反應。等離子體中具有豐富的活性成分（fèn），如紫外和可見光子、電子、離子、自（zì）由基（jī），高反應（yīng）性的中性成分如活性原子、受激（jī）原子態，從（cóng）而可以引發在常規化學中不能或很難實（shí）現的化學反應。
4、等離子體表麵改性。A（氣）+B（固）→C（固）。反應氣體A被激發為等離子體狀態，與固體B表麵發生反應，生（shēng）成新的化合物，從而達到改變B物（wù）質表麵性質的目的。廣泛用（yòng）於高分子材料、金屬材（cái）料（liào）、生物醫用材料（liào）的表麵改性。
(三)產品特色：
1、 微波係統設計嚴謹，加工精良，運行時微波準零（líng）泄漏，確保使用（yòng）者人身安全；
2、 微波功率充足，等（děng）離子效應強勁，作用效果良好；陽（yáng）極電壓電流足額顯示。
3、 樣品台升降架精巧豪華（huá），方便調諧和樣品取放；
4、 樣品台可加熱或冷卻，有利於控製反應過程。
5、製冷循環水係統踐行環保理（lǐ）念，避免（miǎn）用長（zhǎng）流（liú）水費水擾民。
6、循環水機可聯機使用、可獨立使用（yòng），提高了投資效益；
7、缺水時啟動高壓或（huò）正常工作時斷水，係統會斷電並報警；
8、真空泵排氣口（kǒu）接有油霧過濾器，保護環境；
9、電控係統功能完善、操作靈便、指示醒目；
10、整機（jī）造型典（diǎn）雅大氣。
(四)輔助設備與（yǔ）耗材（主要由（yóu）客（kè）戶另購）：
超聲清洗機、1000×金相顯微鏡；矽片、金剛石微（wēi）粉、氫氣、甲烷、甲 / 乙醇、玻璃基襯底的碳膜、模板、石英管 / 板（bǎn）等。
(五)特殊配（pèi）置（客戶提出要求,本廠設計（jì）製作,費用雙方協商）：
1、異型基片台（樣品台） （參（cān）考（kǎo）價￥220）
2、上置（zhì）疹斷探針（帶透明觀察窗） （參考（kǎo）價￥360）
3、可加熱可測溫的基片台（tái）——可水冷可
出接線端子的基片台支柱——寬行程
精巧豪華升（shēng）降架——下法蘭(總成) （參考價￥6800）
4、基片（piàn）台加（jiā）熱及（jí）溫度測控（kòng）儀 （參考價￥1100）
5、可水冷的（de）基片台（帶升降架總成） （參（cān）考（kǎo）價￥3600）
6、光學鏡頭(用（yòng）於聯接（jiē）光譜儀、光度（dù）計等（děng）) （參考價￥1500）
7、客戶（hù）提出需求的其它配置 （另議）
