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無腔壓力傳感器可以用來測量粘(zhān)稠易堵介質的壓(yā)力,由於該傳感器的敏感元件采(cǎi)用了硬膜結構,使其(qí)與被測介質直接接觸(chù)時能耐衝擊和耐磨損;另(lìng)外采用(yòng)了離子束澱積技(jì)術,使該傳感器具有精度高、能長期在(zài)惡劣環境(jìng)下工作的特點。
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