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無(wú)腔壓力傳感器可以用來測量粘稠易堵介質的壓力,由於該傳感器的(de)敏感元件(jiàn)采用(yòng)了硬膜(mó)結構,使其與被測(cè)介質直接接觸時(shí)能耐衝擊和(hé)耐磨損;另外采用了離子束澱積技術,使該傳感器具有精(jīng)度高、能長期在惡劣環境下工作的特點。
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