(一)主要配置：
1、微波頻率2.45GHz；足額功率0～500W（基本型）或0～1000W（升級型）連續可調，陽極高壓、陽極電流足額顯示；
2、Φ50mm（基本型）或Φ90mm（升級（jí）型）石（shí）英管真空室，有一個觀察窗（chuāng）和一個診斷窗；
3、石英管采用製冷循環水冷卻，保證裝置安（ān）全運行。
4、配有真空測（cè）量及控製閥門係統；3路（lù）工（gōng）作氣體流量控製；
(二)典型實驗：
1、等離子（zǐ）體化學氣相沉積。A（氣（qì））+B（氣）→C（固）+D（氣）。
反應氣體A、B被激發為等離子狀態，其活性（xìng）基團發生反應生成所需要的固態物沉（chén）積在基片上（shàng），可廣泛用於薄膜或納米材料（liào）的合成。如（rú）金（jīn）剛石薄膜（mó）、碳納米材（cái）料等（děng）。
2、等離子體表麵（miàn）刻蝕。A（氣）+B（固）→C（氣）。反應氣體A被（bèi）激發為等（děng）離子體狀態與固體B表麵原子發生反應生成氣態物（wù）C，可用於集成電路的刻（kè）蝕實驗。
3、等離子體催化反應。等離子體中具有豐富的活性成分，如紫外和可（kě）見光子、電子、離子、自由（yóu）基，高反應（yīng）性的中性成分如活性（xìng）原子、受激原子態（tài），從而可以引發在常規化學中不能或很難實現的化（huà）學反應。
4、等離子體表麵改性。A（氣）+B（固）→C（固）。反應氣體A被激發為等離子體狀（zhuàng）態，與固體B表麵發生反應，生成新的化合物，從而達到改變B物質表麵性質的目（mù）的。廣泛用於（yú）高分子材料、金屬材料、生物醫用材料的表麵改（gǎi）性。
(三)產品特色：
1、 微波係統設計嚴謹，加工精良，運行時微波準零泄（xiè）漏（lòu），確保使用者人身安全；
2、 微波功率（lǜ）充足，等離子效應強勁，作用效（xiào）果良（liáng）好；陽極電壓電流足額顯示。
3、 樣品台升（shēng）降架精（jīng）巧豪華，方便（biàn）調諧和樣品取放；
4、 樣（yàng）品（pǐn）台可加熱或冷（lěng）卻，有利於控製（zhì）反應過程。
5、製冷循環水係統踐行環保理念，避免用長流水費水擾民。
6、循（xún）環水機可（kě）聯機使用、可獨立使用，提高了投資效益；
7、缺水時啟動高壓或正常工作時斷水，係統會斷電並（bìng）報（bào）警；
8、真空泵排氣口接有油霧過濾器（qì），保護環境；
9、電控係統功能完善、操作靈便、指示醒目；
10、整機造型典雅大氣。
(四（sì）)輔助設備與（yǔ）耗材（cái）（主要由客戶另購）：
超聲清洗機、1000×金相顯微鏡；矽片、金剛石微粉、氫氣、甲烷、甲 / 乙醇、玻（bō）璃基襯底的碳（tàn）膜、模板、石英管 / 板等。
(五)特殊配置（zhì）（客戶提出要求,本廠（chǎng）設計製作,費用雙（shuāng）方協商）：
1、異型基片台（樣品台） （參考價￥220）
2、上置（zhì）疹斷探針（帶透（tòu）明（míng）觀察窗） （參考價￥360）
3、可加熱（rè）可測溫的基片台——可水冷可
出接線端子的基片台支柱——寬（kuān）行程
精巧豪華升降架——下法蘭(總（zǒng）成) （參考價￥6800）
4、基片台加熱及（jí）溫度測控儀 （參考價￥1100）
5、可水冷的基片台（帶升降架總成） （參考價（jià）￥3600）
6、光學鏡（jìng）頭(用於聯接（jiē）光（guāng）譜儀（yí）、光度計（jì）等) （參考價￥1500）
7、客戶提出需求的（de）其它配置 （另議）
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