(一)主要配置：
1、微（wēi）波頻率2.45GHz；足額功率0～500W（基本型）或0～1000W（升級（jí）型）連（lián）續可調，陽極高壓（yā）、陽極電流足額顯（xiǎn）示；
2、Φ50mm（基本型）或Φ90mm（升級型（xíng））石英管真空室，有一（yī）個觀察窗和一個診斷窗；
3、石英管采用（yòng）製冷循環水冷卻，保證裝置安全運行。
4、配有（yǒu）真空（kōng）測（cè）量及控製閥門係統；3路工作氣（qì）體流量控製（zhì）；
(二)典型實驗：
1、等離（lí）子體化學氣相沉積。A（氣（qì））+B（氣）→C（固）+D（氣）。
反應（yīng）氣體A、B被激發為等（děng）離子狀（zhuàng）態，其活性基團發生反應生成所需要的固態物沉積在基片上，可廣泛用於薄膜或納（nà）米材料的合成。如金剛石薄膜、碳納米材料（liào）等。
2、等離子體表（biǎo）麵刻蝕。A（氣）+B（固）→C（氣）。反應氣體A被激發為等離子體狀態（tài）與固體B表（biǎo）麵原子發生反應生成氣態物C，可用於集成電路的刻蝕（shí）實驗。
3、等離子體催化反（fǎn）應。等離子體中具有豐富（fù）的活性（xìng）成分，如紫外和可見光子、電子、離子、自由基，高反應性的中性成分如活性原子、受激原子態，從而可以引發在常規化學中不能或很難（nán）實現（xiàn）的化學反應。
4、等離子體（tǐ）表麵改性。A（氣）+B（固）→C（固）。反應氣體A被激發為等離子體狀態，與固體B表麵發生反應，生成新的化合物，從（cóng）而達到改變（biàn）B物質表麵性質的目的。廣泛用於高分子材料、金屬材（cái）料、生物醫用材料的表麵改性。
(三)產品特（tè）色（sè）：
1、 微波係統設計嚴謹，加工精良，運行時微波準零泄漏，確保使用者人身安全；
2、 微波（bō）功率充足，等（děng）離子效應強（qiáng）勁（jìn），作用效果良好；陽極電壓電流足額顯示。
3、 樣品台升降架精巧豪華，方便調諧和樣品取放；
4、 樣（yàng）品（pǐn）台可加（jiā）熱或冷卻，有利於控（kòng）製反應過程。
5、製冷循環水係統踐行環保（bǎo）理念（niàn），避免用長流水（shuǐ）費水擾民（mín）。
6、循環水機可聯機使用、可獨（dú）立（lì）使用，提高了投資效益；
7、缺水時啟（qǐ）動高壓或正常工作時斷水，係統會斷電並報警（jǐng）；
8、真空泵排氣口接有油霧過濾器，保（bǎo）護環境；
9、電控係統功能完善、操作靈便、指示醒目；
10、整機造型典雅大氣。
(四)輔助設備與耗材（主要由客戶另購）：
超聲清（qīng）洗機、1000×金（jīn）相顯微鏡；矽片、金剛石微（wēi）粉、氫（qīng）氣、甲烷、甲 / 乙醇、玻璃基襯底的（de）碳膜、模板、石英管 / 板等。
(五)特殊（shū）配（pèi）置（客戶提出要求（qiú）,本廠設計製作,費用雙方協商）：
1、異型基片台（樣（yàng）品（pǐn）台） （參（cān）考價￥220）
2、上置疹（zhěn）斷探針（帶透明（míng）觀察窗） （參考價（jià）￥360）
3、可加（jiā）熱可測溫的（de）基片台——可水冷可
出接線端子的基片台支柱——寬行程
精巧豪華升降架——下法蘭(總成) （參考價￥6800）
4、基片台加熱及溫度測控儀 （參考價￥1100）
5、可水冷的基片台（帶升降架總成） （參考價￥3600）
6、光學鏡頭(用於聯接光譜儀、光度計等) （參考價￥1500）
7、客戶提出需求的其它配置 （另議）
